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氦检漏测试

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因氦气的分子非常小,可侦测出非常小之漏点,如果说保压测试是测大漏,氦测漏则是测小漏,在庄达人所著的VLSI制造技术一书中提到(气体管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送气)如此才不会造成危险。

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